中国科普博览-微电子技术专题

婵犵數濮烽弫鍛婃叏閻戣棄鏋侀柛娑橈攻閸欏繘鏌ｉ幋锝嗩棄闁哄绶氶弻鐔兼⒒鐎靛壊妲紒鐐劤椤兘寮婚敐澶婄疀妞ゆ帊鐒﹂崕鎾绘⒑閹肩偛濡奸柛濠傛健瀵鈽夐姀鈺傛櫇闂佹寧绻傚Λ娑⑺囬妷褏纾藉ù锝呮惈瀛濈紓鍌氱Т閿曨亜顕ｇ拠宸悑濠㈣泛锕ｇ槐鍫曟⒑閸涘﹥澶勯柛鎾寸懃閳诲秹鏁愭径瀣ф嫼缂備礁顑堥崕濠氾綖閿曞倹鐓曢柡鍐ｅ亾闁搞劌鐏濋锝嗙節濮橆厽娅滄繝銏ｆ硾閿曪箓顢欓幒妤佸€甸悷娆忓缁€鈧┑鐐茬湴閸斿苯宓勯棅顐㈡处缁嬫帡鍩涢幋锔界厾濠殿喗鍔曢埀顒佹礋瀵悂骞嬮敂钘夆偓鍨叏濮楀棗澧板褝濡囬埀顒侇問閸ｎ噣宕抽敐鍛殾闁绘挸绨堕弨浠嬫煕椤愵偄浜濈悮銊︾節绾板纾块柛瀣灴瀹曟劙寮撮悩鍐插簥闂佸綊鍋婇崕闈涒槈濡攱顫嶉梺闈涚箳婵挳宕戝澶嬧拺缂備焦菢缂傛氨绱掗鍛仸闁糕晜鐩獮鎺楀箠閵娿儳绉洪柡浣瑰姍瀹曟儼顦插┑鈩冩そ濮婃椽骞栭悙娴嬪亾閹版澘纾婚柟鍓х帛閳锋帒霉閿濆懎顥忛柛姘閺屸剝寰勬繝鍕檸濡炪値鍓欓澶婎潖濞差亝鍋￠柟娈垮枤閺嗘盯姊洪幖鐐插缂傚秴锕妴浣割潨閳ь剙鐣峰Δ鍛亗閹艰揪绲块悰顔尖攽閻樺灚鏆╁┑顔碱嚟閳ь剚鑹鹃崲鎻掑祫闂佺粯鍨兼慨銈夊煕閹烘嚚褰掓晲閸涱喖鏆堥梺鍝ュ枔閸嬬喓妲愰幒鏂哄亾閿濆骸浜滈柣蹇旀尦閺岀喖顢欓懞銉ｄ虎婵犵鍓濋幃鍌炲春閳╁啯濯撮柛婵嗗缁犵偤姊婚崒娆戭槮婵犫偓闁秴纾块柕鍫濐槶閳ь剙鍟村畷鍗炩槈濞嗗繋绨甸梻浣告惈濞层垽宕瑰ú顏呭亗婵炴垯鍨洪悡鏇㈡煏婢舵ê鏋ら柛妯荤⊕缁绘盯宕奸悢鍝ヮ槰缂備胶绮惄顖氱暦閵娾晩鏁囬柣鏃堟敱閻ｅ姊绘担鍛婃儓闁活厼顦辩槐鐐哄焵椤掑倻纾奸柣妯虹－濞叉挳鏌℃担鐟板鐎规洏鍔戦、娆撳矗閵夛箑鏋ら梻鍌氬€搁崐椋庢濮橆兗缂氱憸宥囧弲闂侀潧鐗嗗ú鐘诲磻閹炬剚娼╂い鎰╁灩缁侇噣姊洪棃娑欘棛缂佽埖鑹鹃锝夊箻椤旂⒈娼婇梺鏂ユ櫅閸燁垶鎮甸幎鑺モ拻濞达綀顫夐崑鐘绘煕鎼淬垻鐭掗柛鈹惧亾濡炪倖甯掔€氼剛绮婚鐐寸叆闁绘柨鎼牎闂佹娊鏀辩敮鎺楀Υ閹烘埈娼╅柨婵嗘噸婢规洟姊绘笟鈧埀顒傚仜閼活垱鏅舵导瀛樼厱閻庯綆鍋嗗ú鎾煙瀹曞洤鏋涙い銏＄☉閳藉鈻庨幇顔煎▏濠碉紕鍋戦崐鏍偋濠婂牆纾婚柣鎰劋閸嬪倿鏌￠崶銉ョ仾闁绘挻鐟╁娲敇閵娧呮殸闂佽绻掓繛鈧柡灞剧☉椤繈顢楁担鐣岊攨缂傚倷娴囨ご鍝ユ暜濡も偓宀ｈ儻绠涘☉妯溾晠鏌ㄩ弴妤€浜剧紒鐐緲缁夋挳鈥旈崘顔嘉ч幖绮光偓鑼嚬缂傚倷娴囬褔宕銏㈠箵闁兼剚鍨抽悿鈧┑鐐村灦瀹稿宕戦幘缁樻櫇闁稿本姘ㄩ娲⒑缂佹ê濮夐柡浣规倐閸╋綁濡烽埡鍌楁嫽闂佺ǹ鏈懝楣冨焵椤掑嫷妫戠紒顔肩墛閹峰懘宕烽鐘查獎濠电姷鏁告慨鏉懨洪妶鍥ь棜濠电姵纰嶉悡鏇熺箾閹存繂鑸瑰┑顔兼啞缁绘稑顔忛鑽ょ泿闂佸憡鍔忛崑鎾翠繆閻愵亜鈧牠宕濋幋锕€纾归柟鎯у缁犳柨顭跨捄铏圭伇缁惧彞绮欓弻娑氫沪閸撗勫櫘闂佸憡鏌ㄧ粔褰掑箠閿濆牜妲婚梻鍥ь槹缁绘繃绻濋崒姘间紑闂佹椿鍘界敮锟犲蓟閳ュ磭鏆嗛柍褜鍓熷畷浼村冀椤撶姴绁﹂梺纭呮彧缁犳垹绮诲☉娆嶄簻闁规崘娉涜ⅷ闂侀€炲苯澧柛鏃€鐗滈幑銏犫槈濮橈絽浜鹃柣銏㈡瑜版帪缍栭柟鐑橆殕閻撴洟鏌￠崶銉ュ妤犵偞锕㈤弻锝夋晝閳ь剟鎮ч幘鎰佹綎婵炲樊浜濋悞濠氭煟閹邦垰钄奸悗姘緲椤儻顦抽柟鍛婂▕瀵鍩勯崘鈺侇€撻柣鐔哥懃鐎氼剛澹曢幎鑺モ拺閺夌偞澹嗛崝宥夋煙閻熺増鍠樼€殿噮鍋婇獮妯肩磼濡粯顏熼梻浣芥硶閸ｏ箓骞忛敓锟� 婵犵數濮烽弫鍛婃叏閻戣棄鏋侀柛娑橈攻閸欏繘鏌ｉ幋锝嗩棄闁哄绶氶弻鐔兼⒒鐎靛壊妲紒鐐劤椤兘寮婚敐澶婄疀妞ゆ帊鐒﹂崕鎾绘⒑閹肩偛濡奸柛濠傛健瀵鈽夐姀鈺傛櫇闂佹寧绻傚Λ娑⑺囬妷褏纾藉ù锝呮惈瀛濈紓鍌氱Т閿曨亜顕ｇ拠宸悑濠㈣泛锕ｇ槐鍫曟⒑閸涘﹥澶勯柛鎾寸懃閳诲秹鏁愭径瀣ф嫼缂備礁顑堥崕濠氾綖閿曞倹鐓曢柡鍐ｅ亾闁搞劌鐏濋锝嗙節濮橆厽娅滄繝銏ｆ硾閿曪箓顢欓幒妤佸€甸悷娆忓缁€鈧┑鐐茬湴閸斿苯宓勯棅顐㈡处缁嬫帡鍩涢幋锔界厾濠殿喗鍔曢埀顒佹礋瀵悂骞嬮敂钘夆偓鍨叏濮楀棗澧板褝濡囬埀顒侇問閸ｎ噣宕抽敐鍛殾闁绘挸绨堕弨浠嬫煕椤愵偄浜濈悮銊︾節绾板纾块柛瀣灴瀹曟劙寮撮悩鍐插簥闂佸綊鍋婇崕闈涒槈濡攱顫嶉梺闈涚箳婵挳宕戝澶嬧拺缂備焦菢缂傛氨绱掗鍛仸闁糕晜鐩獮鎺楀箠閵娿儳绉洪柡浣瑰姍瀹曟儼顦插┑鈩冩そ濮婃椽骞栭悙娴嬪亾閹版澘纾婚柟鍓х帛閳锋帒霉閿濆懎顥忛柛姘閺屸剝寰勬繝鍕檸濡炪値鍓欓澶婎潖濞差亝鍋￠柟娈垮枤閺嗘盯姊洪幖鐐插缂傚秴锕妴浣割潨閳ь剙鐣峰Δ鍛亗閹艰揪绲块悰顔尖攽閻樺灚鏆╁┑顔碱嚟閳ь剚鑹鹃崲鎻掑祫闂佺粯鍨兼慨銈夊煕閹烘嚚褰掓晲閸涱喖鏆堥梺鍝ュ枔閸嬬喓妲愰幒鏂哄亾閿濆骸浜滈柣蹇旀尦閺岀喖顢欓懞銉ｄ虎婵犵鍓濋幃鍌炲春閳╁啯濯撮柛婵嗗缁犵偤姊婚崒娆戭槮婵犫偓闁秴纾块柕鍫濐槶閳ь剙鍟村畷鍗炩槈濞嗗繋绨甸梻浣告惈濞层垽宕瑰ú顏呭亗婵炴垯鍨洪悡鏇㈡煏婢舵ê鏋ら柛妯荤⊕缁绘盯宕奸悢鍝ヮ槰缂備胶绮惄顖氱暦閵娾晩鏁囬柣鏃堟敱閻ｅ姊绘担鍛婃儓闁活厼顦辩槐鐐哄焵椤掑倻纾奸柣妯虹－濞叉挳鏌℃担鐟板鐎规洏鍔戦、娆撳矗閵夈儺妫滅紓鍌氬€搁崐鎼佸磹瀹勬噴褰掑炊閵婏絼绮撻梺褰掓？缁€浣虹不娴煎瓨鐓欓梻鍌氼嚟鐠愪即鏌℃担鍛婃悙闁宠鍨垮畷鎺戔攦閹捐埖鍤€妞ゎ亜鍟撮幐濠冪珶濠靛棛绉洪柡浣瑰姍瀹曘劑顢樺☉妯虹稈闂佽崵鍠愮划宀€鎹㈤幒鎳筹綁骞囬弶璺啋闁诲孩绋掗敋妞ゅ孩鎹囧娲川婵犲嫮绱伴梺绋垮婵炲﹤鐣峰┑瀣垫晬婵炴垶姘ㄩ鏇㈡煟鎼淬垻鈯曞畝锝呮健閹本绻濋崶銊у幗闂佸搫绋侀崑鍕暜閸洘鐓熼柨婵嗩樈濡垿鏌熼崣澶嬪唉鐎规洜鍠栭崺鈩冩媴妞嬪骸鍤梻鍌氬€风粈渚€骞夐敓鐘茬闁硅揪绠戠粈澶愬箹濞ｎ剙澹傞柛銉墮鎯熼梺鍐叉惈閸婃悂鍩€椤掑倹鏆柡宀嬬秮閹垽宕ㄦ繝鍕殥婵＄偑鍊戦崕杈╂崲濮椻偓瀵鈽夐姀鈥充汗闂佸綊顣﹂悞锕傛偩閻戣姤鈷戦梺顐ｇ〒閳规帡鏌涢弬璺ㄧ劯闁靛牜浜濈€靛ジ寮堕幋锕€鏁归梻浣虹帛閺屻劌顕ｉ崜浣插亾濮樿櫕顥夐柍瑙勫灴閹瑩鎳滈棃娑欓敪缂傚倷娴囧鎾跺垝濞嗘挾宓佸鑸靛姈閺咁剟鏌涢弴銊ュ妞ゅ繑鎮傚铏规崉閵娿儲鐏佹繝娈垮枟閹稿啿鐣峰▎鎾村亹闁绘劖鍨濈花濠氭椤愩垺澶勯柟绋款煼瀹曟娊鎮惧畝鈧壕濂告煟濡灝鍚归柣锝嗘そ閺岀喖顢欓弬銈堚偓鍧楁煙椤旂晫鎳囨鐐存崌楠炴帡宕卞鎯ь棜闂備礁缍婂Λ璺ㄧ矆娓氣偓閹偤宕归鐘辩盎闂佺懓鎼粔鐑藉礂瀹€鈧槐鎺楁偐闂堟稐妲愰梺鍝勬湰濞茬喎鐣烽柆宥呭嵆闁绘瑢鍋撴俊宸枛椤啴濡舵惔鈥茬凹缂備浇顕ч悧鎾荤嵁婵犲倵鍫柛顐ｇ箓閻庮厼顪冮妶鍡楀Ё缂傚秴妫欑粋鎺曨樄婵﹤顭峰畷鎺戔枎閹邦喓鍋樻繝鐢靛仜椤︽澘煤閻旈鏆﹂柟鎯板Г閺呮繈鏌涚仦鐐殤妞ゆ柨妫濆铏规崉閵娿儲鐝㈤梺鐟板殩閹凤拷婵犵數濮烽弫鍛婃叏閻戣棄鏋侀柛娑橈攻閸欏繘鏌ｉ幋锝嗩棄闁哄绶氶弻鐔兼⒒鐎靛壊妲紒鐐劤椤兘寮婚敐澶婄疀妞ゆ帊鐒﹂崕鎾绘⒑閹肩偛濡奸柛濠傛健瀵鈽夐姀鈺傛櫇闂佹寧绻傚Λ娑⑺囬妷褏纾藉ù锝呮惈瀛濈紓鍌氱Т閿曨亜顕ｇ拠宸悑濠㈣泛锕ｇ槐鍫曟⒑閸涘﹥澶勯柛鎾寸懃閳诲秹鏁愭径瀣ф嫼缂備礁顑堥崕濠氾綖閿曞倹鐓曢柡鍐ｅ亾闁搞劌鐏濋锝嗙節濮橆厽娅滄繝銏ｆ硾閿曪箓顢欓幒妤佸€甸悷娆忓缁€鈧┑鐐茬湴閸斿苯宓勯棅顐㈡处缁嬫帡鍩涢幋锔界厾濠殿喗鍔曢埀顒佹礋瀵悂骞嬮敂钘夆偓鍨叏濮楀棗澧板褝濡囬埀顒侇問閸ｎ噣宕抽敐鍛殾闁绘挸绨堕弨浠嬫煕椤愵偄浜濈悮銊︾節绾板纾块柛瀣灴瀹曟劙寮撮悩鍐插簥闂佸綊鍋婇崕闈涒槈濡攱顫嶉梺闈涚箳婵挳宕戝澶嬧拺缂備焦菢缂傛氨绱掗鍛仸闁糕晜鐩獮鎺楀箠閵娿儳绉洪柡浣瑰姍瀹曟儼顦插┑鈩冩そ濮婃椽骞栭悙娴嬪亾閹版澘纾婚柟鍓х帛閳锋帒霉閿濆懎顥忛柛姘閺屸剝寰勬繝鍕檸濡炪値鍓欓澶婎潖濞差亝鍋￠柟娈垮枤閺嗘盯姊洪幖鐐插缂傚秴锕妴浣割潨閳ь剙鐣峰Δ鍛亗閹艰揪绲块悰顔尖攽閻樺灚鏆╁┑顔碱嚟閳ь剚鑹鹃崲鎻掑祫闂佺粯鍨兼慨銈夊煕閹烘嚚褰掓晲閸涱喖鏆堥梺鍝ュ枔閸嬬喓妲愰幒鏂哄亾閿濆骸浜滈柣蹇旀尦閺岀喖顢欓懞銉ｄ虎婵犵鍓濋幃鍌炲春閳╁啯濯撮柛婵嗗缁犵偤姊婚崒娆戭槮婵犫偓闁秴纾块柕鍫濐槶閳ь剙鍟村畷鍗炩槈濞嗗繋绨甸梻浣告惈濞层垽宕瑰ú顏呭亗婵炴垯鍨洪悡鏇㈡煏婢舵ê鏋ら柛妯荤⊕缁绘盯宕奸悢鍝ヮ槰缂備胶绮惄顖氱暦閵娾晩鏁囬柣鏃堟敱閻ｅ姊绘担鍛婃儓闁活厼顦辩槐鐐哄焵椤掑倻纾奸柣妯虹－閳藉銇勯锝囩畼闁圭懓瀚伴幃婊兾熺拠鍙夌暭闂傚倸鍊搁崐椋庢濮橆兗缂氱憸宥囧弲闂侀潧鐗嗗ú鐘诲磻閹炬剚娼╂い鎰╁灩缁侇噣姊虹紒妯圭繁闁哥姵鐗犻敐鐐测堪閸繄鍔﹀銈嗗笒鐎氼剛绮婚崷顓熷枑闁绘鐗嗘穱顖炴煛娴ｇǹ鏆ｉ柡灞诲妼閳规垿宕卞Ο鐑橆仭闂備浇顕ф鍛婃櫠閻ｅ本顫曢柟鎹愵嚙绾惧吋鎱ㄥ鍡楀幋闁稿鎸婚ˇ鐗堟償閵忊晛浠洪梻浣芥硶閸犳挻鎱ㄧ€靛摜鐜绘俊銈勮兌缁犻箖鏌熺€涙ḿ鎳冮柣鎺撴そ閺屸剝鎷呴崜鎻掑壋闂佺懓寮堕幃鍌炵嵁鐎ｎ喗鏅滈柦妯侯槴閸嬫捇宕奸弴鐔哄幈闂佺鍩囬崝宥呪枍閸モ晝纾奸柣妯垮吹閻ｈ櫣鈧鍠栭悥鐓庣暦閻撳簶鏀介柛鈥崇箲鐎垫牠姊绘担鍛婂暈閻㈩垳鍋為弲璺何旈崘鈺佸簥濠电娀娼ч鍛存倿閸偁浜滈柟鐑樺灥椤忣亪鏌ｉ幒鏇炰汗闁逞屽墮缁犲秹宕曢崡鐐嶆稑螖閸涱厾顦銈嗘尪閸ㄦ椽鍩涢幋锔界厽闁规儳鍟块惁銊︾箾閼测晛鏋涢柡灞剧⊕缁绘繈宕橀悙顒傛毉濠电姰鍨奸～澶娒哄Ο鑲╃焿闁圭儤鏌￠崑鎾绘晲鎼粹€茬敖闂佸憡锕㈡禍鍫曞蓟閿濆牏鐤€闁哄洨鍋樺▽顏堟倵鐟欏嫭绀冮拑杈╃磼閺冨倸鏋庢い顐ｇ矒閸┾偓妞ゆ帒瀚拑鐔兼煥閻斿搫孝妤犵偑鍨虹换娑㈠幢濡ゅ啰顓哄┑鈥冲级閸旀瑥顫忓ú顏勪紶闁告洦鍓氶幏閬嶆⒑閻戔晜娅撻柛銊ㄩ哺缁岃鲸绻濋崶褏顔愭繛杈剧秬閸婁粙濡搁埡鍌滃弳闂佸搫娲︽穱娲礂鐏炰勘浜滈柕蹇曞У閸ゅ洦鎱ㄦ繝鍕笡闁瑰嘲鎳樺畷銊︾節閸屾稒鐣奸梻浣圭湽閸╁嫰宕归柆宥冣偓鍐醇閵夈儲鐎銈嗘磵閸嬫捇鏌℃担瑙勫磳闁诡喒鏅犻幊鐘活敆閸屾稓鈧喖鈹戦悩鍨毄濠殿喗鎸抽弫鍐Χ婢跺浜辨繝鐢靛Т濞层倗澹曟繝姘厪濠电倯鍐╁櫤闁挎稑绻樺铏圭磼濮楀棙鐣堕梺缁樻尭閻栧ジ鐛€ｎ喗鏅濋柍褜鍓熷鍛婄瑹閳ь剟寮婚敐澶婎潊闁绘ê鍟块弳鍫ユ⒑閹惰姤鏁遍悽顖涘浮濠€渚€姊洪幐搴ｇ畵闁绘绮屽玻鍧楀箛閻楀牏鍘介棅顐㈡处缁嬫劙骞夋ィ鍐╃厸鐎光偓鐎ｎ剛鐦堥悗瑙勬磸閸旀垿銆佸▎鎾村€锋い鎺嗗亾闁搞劑浜堕弻锝嗘償閵堝孩缍堝┑鐐额嚋缁犳挸鐣疯ぐ鎺戦唶闁哄洨鍋炲Σ顒勬⒑鐠恒劌鏋斿┑顔碱嚟缁牓宕橀鐣屽帗闂佸憡绻傜€氭悂寮ㄩ懡銈囩＝鐎广儱妫▓婊勬叏婵犲嫮甯涢柟宄版嚇瀹曘劍绻濋崘銊ュ闂備浇宕垫慨鏉懨洪妸鈺佺；闁靛牆顦弰銉╂煃瑜滈崜姘跺Φ閸曨垰绠抽柛鈩冦仦婢规洟姊洪崨濠庢疁濞存粌鐖煎璇测槈閵忊晜鏅濋梺缁樕戣ぐ鍐╂叏閺囥垺鈷戠紓浣股戠亸浼存煟閻斿弶娅婄€殿喛顕ч埥澶愬煑閳规儳浜鹃柨鏇炲€哥粻锝嗙節闂堟稒宸濆ù婊庝邯濮婄粯鎷呴崨濠冨創濠碘槅鍋呴悷鈺呭箖閻戣姤鏅濋柛灞厩氶崑鎾诲礃椤斿槈銊╂煃閸濆嫬鈧悂鍩€椤掑倸鍘撮柟顔筋殜閹粙鎯傜拠鑼Ш闁糕晜鐩畷濂稿閵忣澁绱冲┑鐐舵彧缁茶偐鍒掑▎鎾充紶婵炲樊浜濋崑銊︺亜閺嶃儱鈧寮ч埀顒€螖閻橀潧浠﹂柣妤冨仱婵＄敻骞囬弶璺唺闂佽鍎抽崢鏍偨鐠囨祴鏀介柍钘夋娴滅増銇勯敐蹇擃洭缂侇喖鐗婄粭鐔煎焵椤掑啯锛傛繝娈垮枟鏋ù婊庡墰婢规洘绂掔€ｎ偆鍘遍柣蹇曞仜婢т粙骞婇崨顔轰簻闁挎柨銈稿顕€鏌曢崶褍顏鐐差儏閳规垿宕惰閻ｅ姊洪懞銉夋垹鎹㈤崼婵愭綎婵炲樊浜堕弫鍡涙煃瑜滈崜娑氬垝閺冨倵鍋撻棃娑欐喐濞戞挸绉甸妵鍕冀椤愵澀娌梺缁樻尵閸犳劖绌辨繝鍥舵晬婵炴垵宕崝宀勬⒑閹肩偛鈧牠鎮疯濡叉劙骞掑Δ浣镐汗闂佸壊鐓堥崑鍛掗崼銉︹拺闁告繂瀚悘閬嶆煕閻樺磭澧垫鐐插暙楗即宕楅崜褍鏋涢柟铏墵閸╋繝宕橀埡鍌滄婵犵數濮烽弫鍛婃叏閻㈠壊鏁婇柡宥庡幖闂傤垱銇勯弽顐粶缂佺媭鍨堕弻銊╂偆閸屾稑顏�