微观世界

作者:周典法(硕士研究生)    所在单位:中国科学技术大学微纳中心

作品微观世界是一幅直径只有头发丝粗细的金色校徽,采用目前最先进的电子束光刻机进行曝光制作,将进行矢量化的校徽图片抠图后转换成机器识别的gds格式文件导入光刻机,对涂有电子束光刻胶的硅片进行曝光,显影坚膜后,采用电子束蒸发镀膜设备镀金100纳米,丙酮剥离后即可,其最小线宽达到500纳米以下,是微观制造的主要方式。